本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種納米金顆粒修飾的偽MOS生化分子傳感器及其制備方法。本發(fā)明的偽MOS生化分子傳感器包括襯底、氧化埋層、溝道、納米金顆粒、生物分子或化學(xué)分子；襯底、氧化埋層和溝道共同組成偽MOS結(jié)構(gòu)；納米金顆粒通過電子束蒸發(fā)鍍膜工藝修飾在偽MOS結(jié)構(gòu)溝道表面，作為偽MOS結(jié)構(gòu)溝道與生化分子或化學(xué)分子之間的“l(fā)inker”，從而更好地固載生化分子，提高生化分子傳感器的檢測性能。本發(fā)明生化分子傳感器可用于核酸、蛋白、酶等各種生物分子，以及無機小分子和有機小分子等的靈敏和超靈敏檢測。