本公開(kāi)提供一種影像處理系統(tǒng)及其方法。該系統(tǒng)具有一影像擷取單元以及一影像處理單元。該影像擷取單元包括一相機(jī)、一光源以及一晶圓傳輸平臺(tái)。該相機(jī)擷取一晶圓標(biāo)記的影像。該光源是一可變光源，能夠投射經(jīng)過(guò)在該晶圓標(biāo)記上的多個(gè)化學(xué)殘留物，其中該相機(jī)通過(guò)該可變光源擷取該晶圓標(biāo)記的該區(qū)域的多個(gè)影像。該影像處理單元具有一影像處理器以及一物件配對(duì)子系統(tǒng)。該影像處理器經(jīng)配置以執(zhí)行該影像處理器的多個(gè)計(jì)算，以產(chǎn)生一輸出結(jié)果。該物件配對(duì)子系統(tǒng)具有一物件配對(duì)單元以及一存儲(chǔ)器單元。該物件配對(duì)單元具有一人工智能統(tǒng)計(jì)模型，用以辨識(shí)該晶圓標(biāo)記的每一字元。該存儲(chǔ)器單元存儲(chǔ)該物件配對(duì)單元檢測(cè)在每一影像中的該晶圓標(biāo)記的每一字元的一組幾率。