本發(fā)明屬于神經微探針陣列技術領域,具體為一種組裝式神經微探針陣列的制作方法。該方法用電鍍焊接的方法把微探針陣列與對應的柔性互連線組裝在一起,并用定刻膠對焊接處進行加固,
電化學腐蝕出金屬探針針尖后,用聚對二甲苯涂敷除插腳外的所有地方,接著,反應離子刻蝕掉針尖上的聚對二甲苯,根據刻蝕的條件可以控制微探針的阻抗。金屬微探針有足夠的強度刺入神經組織,而柔性互連線不會引起太大的損傷,這種方法制作的神經探針集合了兩者的優(yōu)點,有利于用作長期植入式神經信號的探測。
聲明:
“組裝式神經微探針陣列的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)