本發(fā)明公開一種制造圖像傳感器的方法和一種圖像傳感器。制造圖像傳感器的方法可以包括:在半導(dǎo)體襯底上面和/或上方形成包括金屬線的層間電介質(zhì);在層間電介質(zhì)上面和/或上方形成圖像感測部;和/或在圖像感測部上面和/或上方形成硬掩模,該硬掩模中可以限定對應(yīng)于金屬線的開口。制造圖像傳感器的方法可以包括:執(zhí)行蝕刻工藝以形成暴露圖像感測部內(nèi)部的輔助通孔,和/或通過硬掩模的蝕刻副產(chǎn)品在輔助通孔內(nèi)部形成間隔件。制造圖像傳感器的方法可以包括:執(zhí)行包括化學(xué)制品的蝕刻工藝以移除間隔件,和/或蝕刻圖像感測部和/或?qū)娱g電介質(zhì)以形成深通孔。