本揭露描述一種半導(dǎo)體裝置。此半導(dǎo)體裝置包含用以固持基板的吸盤、圍繞吸盤的排放杯、以及偵測模組。排放杯用以捕獲從基板噴灑的化學(xué)物質(zhì)。偵測模組設(shè)置于排放杯與吸盤之間的空間中,且用以監(jiān)測排放杯的多個(gè)側(cè)壁。
聲明:
“半導(dǎo)體裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)