本發(fā)明公開了一種具有高遷移率的非金屬共摻雜ZnO透明導(dǎo)電薄膜，該薄膜為生長于柔性襯底上的ZnO基薄膜，其化學(xué)組成為Zn1-x-yAxByO，其中0< x≦0.50，0< y≦0.40, ?A為氟、氯、硫、硒中的一種，B為硼、氫中的一種，且A和B的原子比例滿足1< x : y≦10。制備該薄膜采用射頻磁控濺射法，通過結(jié)合氫等離子處理和真空熱退火的手段，從而制得導(dǎo)電性能良好的透明導(dǎo)電薄膜。本發(fā)明制備的薄膜結(jié)晶性能好，薄膜生長平整，光透過率在80%以上，電阻率可降至10-3數(shù)量級，方阻可達到81.9。可應(yīng)用在太陽能電池前電極、薄膜晶體管、紫外探測器、透明顯示屏等領(lǐng)域。