本發(fā)明公開了一種超純無硼氨水的制備方法，包括依次且連續(xù)進(jìn)行的如下步驟：（1）汽化；（2）凈化過濾；（3）樹脂吸附；（4）多級吸收；（5）除硼工藝；（6）超濾。上述方法所得的超純無硼氨水中，大于等于0.5μm顆粒濃度小于3p/ml，大于等于0.2μm顆粒濃度小于30?p/ml，硼元素含量100PPT，單項金屬離子含量小于30ppt，實(shí)測小于20ppt。本發(fā)明一種超純無硼氨水的制備方法，工藝流程簡單，容易實(shí)現(xiàn)，其通過硼特效樹脂進(jìn)行多級除硼操作，有效去除氨水中的硼元素，且該制備方法所用設(shè)備少，易于操作，生產(chǎn)成本低，為無硼化學(xué)品的開發(fā)奠定了基礎(chǔ)。