本發(fā)明涉及金剛石色心領(lǐng)域，具體為一種納米金剛石中高亮度硅空位色心的制備方法?；跉怏w摻雜方式在微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備引入四甲基硅烷氣體，在襯底上生長(zhǎng)硅摻雜納米金剛石薄膜，金剛石晶粒尺寸小于100nm，采用機(jī)械剝離或者濕法刻蝕方法將襯底去掉，得到自支撐薄膜并研磨處理得到納米金剛石粉體，將納米金剛石粉體進(jìn)行550～650℃空氣氣氛下退火5～10min，獲得硅空位色心在室溫激發(fā)條件下其738nm熒光峰與金剛石拉曼峰強(qiáng)度比值大于10。從而，在納米金剛石中可控?fù)诫s硅原子獲得硅空位色心，并實(shí)現(xiàn)硅空位色心在室溫條件下高亮度發(fā)光的顆粒制備。本發(fā)明制備的納米金剛石具有非常強(qiáng)的SiV發(fā)光性能，可以用于生物熒光標(biāo)記，高精度溫度磁性測(cè)量等領(lǐng)域。