一種高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測(cè)方法,包括以下步驟:制作部分透光平板;在移相干涉儀輸出的平行光束方向依次設(shè)置所述的部分透光平板和待測(cè)高反射率凹面錐形反射鏡,所述的待測(cè)高反射率凹面錐形反射鏡的錐面朝向移相干涉儀的出光方向;調(diào)整光路;利用移相干涉儀檢測(cè)干涉條紋,得到所述的高反射率凹面錐形反射鏡的面形信息。本發(fā)明具有操作簡(jiǎn)單,易于測(cè)量,對(duì)測(cè)量件無損傷等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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