一種半導(dǎo)體器件檢查裝置用電流計(jì)9測(cè)定把平行電子束2照射在樣品5上而在樣品5上產(chǎn)生的電流。改變電子束3的加速電壓反復(fù)測(cè)定,在數(shù)據(jù)處理裝置10中,加速電壓的差異導(dǎo)致電子束對(duì)樣品5的透射率不同,由此求出與樣品5的深度方向的構(gòu)造有關(guān)的信息。利用這種裝置可進(jìn)一步改善檢測(cè)由電子束的照射產(chǎn)生的基板電流的技術(shù),對(duì)接觸孔的詳細(xì)形狀和半導(dǎo)體器件的內(nèi)部狀態(tài)進(jìn)行無(wú)損檢查。