一種微機電系統(tǒng)機械組元可靠性評估的測試裝置,包括:一光學測量單元,用于測量微機電系統(tǒng)機械組元的輪廓曲線,獲得被測微機電系統(tǒng)機械組元在失效前后的三維形貌信息或動態(tài)位移信息;一環(huán)境腔室,用于放置被測微機電系統(tǒng)機械組元,所述各種環(huán)境條件包括真空、氣壓、氣氛、溫度和濕度;一XY工作臺,環(huán)境腔室放置在XY工作臺上,可跟隨XY工作臺在水平面內(nèi)移動,環(huán)境腔室的質(zhì)量低于XY工作臺正常工作的載荷限制;一環(huán)境控制與測量單元,保證在環(huán)境腔室內(nèi)實現(xiàn)所需的各種環(huán)境條件并測量相應的環(huán)境參數(shù);一數(shù)據(jù)采集和控制單元,用于控制XY工作臺,并帶動環(huán)境腔室在水平面內(nèi)移動;環(huán)境控制與測量單元,實現(xiàn)與測量各種環(huán)境條件。