本發(fā)明提供一種雙工件臺長行程測量裝置及其使用方法，其用于實時控制硅片臺或掩模臺等精密工件臺的位置以進行精確的光刻加工作業(yè)，所述雙工件臺長行程測量裝置包括粗動平面電機裝置、兩根導軌、兩個長行程平面測量裝置和控制系統(tǒng)，該裝置不僅能夠使長行程平面測量裝置自動跟隨工件臺一起沿Y向移動，其長行程平面測量裝置中的彈性緩沖裝置還能夠保證在工件臺長行程運動控制失效時，測量傳感器不會被損壞，并且仍然能夠得到工件臺的位置信號并反饋回該裝置的控制系統(tǒng)，控制工件臺復位回到工作零位。