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多晶硅鑄錠用石英坩堝的制造方法

1039   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:29:00
本發(fā)明公開了一種多晶硅鑄錠用石英坩堝的制造方法,包括漿料的制備和坯體的成型,將部分的石英粉料、部分含有聚合物單體和交聯(lián)體的添加劑和全部去離子水一起進(jìn)行球磨,球磨至要求的粒度后再加入剩余石英粉料及剩余添加劑進(jìn)行二次球磨,得到漿料,將適量合格的漿料進(jìn)行攪拌,攪拌的同時(shí)注入引發(fā)劑和催化劑,將攪拌后的漿料動(dòng)態(tài)加壓注入模具中后進(jìn)行加熱固化,加熱固化過(guò)程中有機(jī)聚合物單體交聯(lián)聚合成三維網(wǎng)絡(luò)狀聚合物凝膠,將石英粉料粘結(jié)固化形成胚體,本發(fā)明所述制造方法生產(chǎn)周期短、效率高、成本低,適應(yīng)大批量工業(yè)化生產(chǎn)的需要,根據(jù)本發(fā)明制造出來(lái)多晶硅鑄錠用石英坩堝尺寸變形量小、顯氣孔率低、耐壓強(qiáng)度和抗折強(qiáng)度高。
聲明:
“多晶硅鑄錠用石英坩堝的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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