1200℃全自動(dòng)七溫區(qū)CVD系統(tǒng)
關(guān) 鍵 詞:加長溫區(qū),多溫區(qū),全自動(dòng)CVD系統(tǒng),高溫電爐,管式爐
型號(hào):CVD-1200-Ⅷ
品牌:上海鉅晶
發(fā)貨周期:1-5個(gè)工作日
接受訂制:可按要求定制
上海鉅晶提供的1200℃全自動(dòng)七溫區(qū)CVD系統(tǒng)(型號(hào):CVD-1200-Ⅷ)是一款先進(jìn)的高溫電爐設(shè)備,專為化學(xué)氣相沉積工藝設(shè)計(jì)。該系統(tǒng)具備加長溫區(qū)和多溫區(qū)的特點(diǎn),能夠滿足全自動(dòng)CVD系統(tǒng)的需求,適用于高溫電爐、管式爐等應(yīng)用。設(shè)備采用先進(jìn)的溫控系統(tǒng),確保溫度控制精確,加熱元件為0Cr27Al7Mo2,工作電源為AC220V 50HZ/60HZ,額定功率4KW,最高溫度可達(dá)1200℃,恒溫精度±1℃,加熱區(qū)長度440mm或220mm/220mm,升溫速度≤20℃/min,密封方式為不銹鋼快速法蘭擠壓密封。此外,該系統(tǒng)還具備真空范圍0.1-0.001Pa,極限真空4.0*10^-4Pa,產(chǎn)品配置雙級(jí)旋片
真空泵+分子泵,測量方式為復(fù)合真空計(jì),冷卻方式為風(fēng)冷。發(fā)貨周期為1-5個(gè)工作日,并可根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制,以滿足不同工藝需求。