RTP快速退火爐
關(guān) 鍵 詞:快速退火爐、紅外線加熱、合金退火、熱處理
快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體和爐管可以自由滑動(dòng),可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM,可以直接放下5英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在個(gè)密閉的石英腔體內(nèi),在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí),也大大降低了間接污染試樣的可能性。
型號:RTP-1100
品牌:上海鉅晶
發(fā)貨周期:1-5個(gè)工作日
接受訂制:可按要求定制
主要功能和特點(diǎn):
1、可視化7寸觸摸屏,設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面,操作方便;
2、爐體配備高精度移動(dòng)平臺,運(yùn)行平穩(wěn)無抖動(dòng);
3、爐管可自由移動(dòng),且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能:當(dāng)爐管移出爐膛時(shí)冷確風(fēng)扇啟動(dòng),可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求:
4、爐膛采用進(jìn)口多品纖維真空吸附制成,采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,使用壽命可達(dá)5000小時(shí),升溫速度快,最高溫度可達(dá)1050℃。
5、預(yù)留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用
6、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口,可通過我司專用軟件,與計(jì)算機(jī)互聯(lián),可實(shí)現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能。
7、設(shè)置超溫報(bào)警并斷電,漏電保護(hù),操作安全可靠。
主要用途和適用范圍:
用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域,可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火,氧化物生長以及銅銦鎵硒
光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。