雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS
型號(hào):OTF-1200X-4-C4LVS
產(chǎn)地:廣東
產(chǎn)品介紹
雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的雙管CVD系統(tǒng)，是專為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì)的，特別適用于新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。本機(jī)可通過滑動(dòng)爐體，實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。
產(chǎn)品型號(hào)
雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS
安裝條件
本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）
2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關(guān)），必須有良好接地
3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）
4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)
1、采用高純Al2O3保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性，內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫
氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。
2、設(shè)有雙石英管，金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上，以發(fā)生CVD反應(yīng)。
3、雙管的真空密封法蘭允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管。
4、配有四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體，及采用KF25快接和波紋管連接的高速機(jī)械泵。
5、底部設(shè)有滑軌，爐子可以從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。
6、樣品所在的位置每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。
技術(shù)參數(shù)
1、電源：?jiǎn)蜗?08V-240V AC 50Hz/60Hz 2.5KW（20A保險(xiǎn)絲）
2、石英管：外管外徑?100mm，內(nèi)徑?96mm，長(zhǎng)1400mm
內(nèi)管外徑?80mm，內(nèi)徑?75mm，長(zhǎng)1400mm
3、加熱區(qū)：440mm
4、恒溫區(qū)：120mm（雙溫區(qū)爐可獲得240mm）
5、工作溫度：最高溫度1100℃，連續(xù)溫度1000℃
6、控溫精度：±1℃
7、升降溫速度：在使用前需要校正工作溫度、加熱效率、冷卻效率
8、真空度：10-3torr（機(jī)械泵），10-5torr（分子泵）
9、真空法蘭：SS304不銹鋼，配有兩個(gè)高溫O型圈密封
10、流量計(jì)：4路精密質(zhì)子流量計(jì)，氣體流量自動(dòng)控制（數(shù)字顯示）
MFC1范圍0-100sccm MFC2范圍0-200sccm
MFC3范圍0-200sccm MFC4范圍0-500sccm
11、流量精度：0.2%
12、進(jìn)出氣口：1/4"卡套
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：138kg
可選配件
1、銅箔（150m×150mm×25μm，生長(zhǎng)
石墨烯用）
2、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)
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河南 - 鄭州
2025年03月28日 ~ 30日
京公網(wǎng)安備 11010702002294號(hào)
