混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子GSL-4Z
型號: GSL-4Z
產(chǎn)地: 廣東
配件產(chǎn)地: 國產(chǎn)配件
產(chǎn)品介紹
混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子GSL-4Z是用于控制一種到四種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動(dòng)架內(nèi)，管式爐可以放在移動(dòng)架上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥，可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響，在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用，廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器。
產(chǎn)品型號
混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子GSL-4Z
主要特點(diǎn)
精度高，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。
技術(shù)參數(shù)
1、電源：185-245V 50Hz
2、最大輸出功率：18W
3、控制范圍：控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、
控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM
4、最大壓力：3×106 Pa
5、準(zhǔn)確度：±1%FS
6、線性：±0.5-1.5%
7、重復(fù)精度：±0.2%FS
8、響應(yīng)時(shí)間：氣特性1-4s，電特性10s針閥：316不銹鋼
9、工作壓差范圍：0.1-0.5 MPa
10、壓力表測量范圍：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）
11、混氣罐：?80mm×120mm
12、截止閥：?1/4″，316不銹鋼針閥
13、工作溫度：5-45℃
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸：600mm×600mm×650mm
255 
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河南 - 鄭州
2025年03月28日 ~ 30日
