帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV
型號:OTF-1200X-5-III-F3LV
產(chǎn)地:廣東
產(chǎn)品介紹
帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃,并通過調整三個溫區(qū)而建立不同梯度的熱場,可進行退火、擴散、在不同氣氛中燒結樣品及CVD等實驗。
產(chǎn)品型號
帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV
安裝條件
本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設備腔室內需充注氣體,需自備氣瓶氣源
4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上
5、通風裝置:需要
主要特點
1、雙層殼體,配有冷系統(tǒng),爐體采用高純度
氧化鋁多晶纖維保溫材料。
2、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。
3、一端法蘭配有滑軌,便于樣品裝卸;另一端法蘭裝有數(shù)字真空計。
4、采用三個獨立PID控制器 ,可以設置30段升降溫程序,設有過熱和斷偶保護功能。
5、已通過CE認證。
技術參數(shù)
1、電源:單相AC 208-240V 50/60Hz 7KW (40A保險絲)
2、石英管:外徑?125mm,內徑120mm,長1400mm,帶有一對真空密封法蘭
4、加熱區(qū)域:溫區(qū)I長229mm,溫區(qū)II長457mm,溫區(qū)III長229mm,總長915mm
5、恒溫區(qū)域:三個溫區(qū)為同一溫度時為625mm,溫區(qū)II為110mm
6、工作溫度:最高1200℃,連續(xù)工作1100℃
7、最大升降溫速率:20℃/min
8、控溫精度:±1℃
9、熱電偶:K型
10、浮子流量計:3個,量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min
11、數(shù)字真空計:10-4torr
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸:管式爐1080mm×430mm×600mm;重量:70kg