RTP1200(1200度快速升溫管式爐)
一、概述
該爐為對(duì)開式雙層殼體結(jié)構(gòu)，爐膛采用日本技術(shù)
氧化鋁多晶體纖維材料，適用于快速退火處理。配有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，確保使用安全。
二、功能與原理
1. 配備空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器，當(dāng)電路過流或漏電時(shí)，會(huì)自動(dòng)斷開電源，保障設(shè)備和操作人員的安全。
2. 該爐可通過通訊接口與電腦連接，用戶可在電腦上實(shí)時(shí)監(jiān)控和調(diào)整爐子的參數(shù)，包括PV和SV溫度值，并保存每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)。
3. 爐膛設(shè)計(jì)精細(xì)，電阻絲間距和節(jié)距按最優(yōu)熱工技術(shù)布置，并經(jīng)過熱工軟件模擬溫場(chǎng)，采用四周加熱方式，保證溫場(chǎng)均衡穩(wěn)定。
4. 可選配符合UL認(rèn)證的電氣板，確保設(shè)備達(dá)到國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn)。
三、適用領(lǐng)域與實(shí)驗(yàn)
1. 本設(shè)備適用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、微電子加工等領(lǐng)域，特別適合需要快速退火和熱處理的實(shí)驗(yàn)。
2. 適用于基片薄膜的快速熱處理實(shí)驗(yàn)，以及高精度控溫要求的材料研發(fā)與測(cè)試。
四、優(yōu)點(diǎn)
a. 快速升溫：最大升溫速率可達(dá)50℃/s，提高實(shí)驗(yàn)效率。
b. 安全性高：配有行程開關(guān)及漏電保護(hù)，保證操作過程的安全。
c. 精準(zhǔn)控溫：可實(shí)現(xiàn)高精度的溫度控制，支持多組PID參數(shù)及自整定功能。
d. 多功能通訊：可與電腦連接，實(shí)時(shí)監(jiān)控溫度變化，支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄與分析。
e. 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：可選配UL認(rèn)證電氣板，符合國(guó)際安全和質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。
五、結(jié)構(gòu)組成
1. 爐體：采用對(duì)開式雙層殼體結(jié)構(gòu)，保證內(nèi)部溫場(chǎng)穩(wěn)定且外部安全。
2. 爐膛：由高純氧化鋁多晶纖維材料制成，耐高溫且熱效應(yīng)好，確保實(shí)驗(yàn)的精確性。
3. 加熱元件：采用高效電阻絲，按最優(yōu)熱工技術(shù)布置，支持四周加熱，實(shí)現(xiàn)溫場(chǎng)均勻。
4. 控制系統(tǒng)：配備英國(guó)歐陸 Eurotherm 控溫儀表，具備多組PID參數(shù)、快速響應(yīng)及高精度控制功能。
5. 安全系統(tǒng)：包括空氣開關(guān)、漏電保護(hù)、行程開關(guān)等，確保操作過程中的人身和設(shè)備安全。
6. 電氣板：可選配符合UL認(rèn)證的電氣板，進(jìn)一步提升設(shè)備的安全性和國(guó)際通用性。
六、詳細(xì)參數(shù)
注意事項(xiàng)：
一、爐管內(nèi)氣壓不可高于 0.02 MPa
二、由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，通入氣體時(shí)氣瓶上必須安裝減壓閥，確保安全，建議使用壓力低于 0.02 MPa
三、爐體溫度高于 1000 ℃ 時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，氣壓需和大氣壓相當(dāng)
四、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于 200 SCCM，避免冷氣流對(duì)熱爐管的沖擊
五、進(jìn)行樣品加熱時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需關(guān)閉，必須關(guān)注壓力表，若氣壓大于 0.02 MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外（如爐管破裂，法蘭飛出等）
259 
分享 0
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
河南 - 鄭州
2025年03月28日 ~ 30日
京公網(wǎng)安備 11010702002294號(hào)
