氖氣退火爐簡介
氖氣退火爐是一種高性能的熱處理設(shè)備,主要用于在高真空或惰性氣體氛圍下對金屬材料進(jìn)行退火處理。該設(shè)備通過精確控制溫度、真空度和氣體環(huán)境,確保材料在處理過程中保持高純度和高質(zhì)量。以下是該設(shè)備的主要技術(shù)指標(biāo)和特點(diǎn)。
技術(shù)指標(biāo)
真空性能:
系統(tǒng)極限真空度 ≤5×10?3 Pa(冷態(tài)),確保在低溫下也能達(dá)到高真空狀態(tài)。
工作真空度 ≤5×10?3 Pa(溫度≥200℃),適用于高溫退火過程。
系統(tǒng)漏率 ≤5×10?3 Pa·m3/s,保證真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。
溫度控制:
最高加熱溫度可達(dá)850℃,滿足多種材料的退火需求。
升溫速率可在0.5~10℃/min范圍內(nèi)調(diào)節(jié),降溫速率在250℃以上為0.5~5℃/min,250℃以下自然降溫,確保工藝的靈活性和精確性。
均溫區(qū)范圍≥Ф1000mm×200mm,溫度均勻性 ≤±3℃,控溫精度 ≤±1℃,確保退火過程的均勻性和一致性。
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì):
真空室內(nèi)徑≥Ф1300mm,有效高度≥300mm,工件支撐盤尺寸>Ф1000mm×10mm,提供足夠的空間以適應(yīng)大型工件。
鐘罩降下后工件盤距真空室頂部高度≥300mm,鐘罩升起后工件盤上端距離鐘罩下端高度≥300mm,確保操作的安全性和便利性。
鐘罩提升至最高位置時(shí)總高度≤2450mm,臺面高度≤1000mm,便于設(shè)備的安裝和操作。
性能指標(biāo):
抽速:真空室暴露大氣后,抽至5×10?3 Pa所需時(shí)間≤1小時(shí),確??焖倩謴?fù)真空狀態(tài)。
功耗:≤45kW,節(jié)能高效,降低運(yùn)行成本。