電子束區(qū)域熔煉(提純單晶)爐
磐一(西安)裝備技術(shù)有限公司專業(yè)設(shè)計(jì)的電子束區(qū)域熔煉設(shè)備由爐體部分、夾料部分、真空系統(tǒng)部分、電子槍部分、高壓電源部分、自動(dòng)控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)等組成。要求整體結(jié)構(gòu)緊湊,布局合理,維修維護(hù)方便。
(1)爐體部分:爐體為立式結(jié)構(gòu),包括304L不銹鋼爐體、不銹鋼爐門、碳鋼架體等配件。
(2)溫度控制系統(tǒng):加熱部分、測(cè)溫控溫儀表等。
(3)電子槍:電子槍有三塊聚束極和一塊紫銅底板以及燈絲和相關(guān)高壓絕緣件組成。
(4)真空與氣氛控制系統(tǒng):
真空泵、真空測(cè)量裝置、管道、閥門、接口等。管道、閥門一律采用不銹鋼或更優(yōu)質(zhì)材質(zhì)。
(5)電子槍移動(dòng)系統(tǒng):電子槍移動(dòng)系統(tǒng)應(yīng)帶有水冷系統(tǒng),由不銹鋼制造,伺服電動(dòng)缸進(jìn)行傳動(dòng)。
(6)集成控制系統(tǒng):可將爐體、真空系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)等相關(guān)儀表的控制集成到控制臺(tái))。
(7)冷卻水循環(huán)系統(tǒng):工藝?yán)鋮s水循環(huán)管道、閥門均采用不銹鋼或更優(yōu)材質(zhì),以確保水質(zhì)穩(wěn)定。
(8)安全連鎖裝置與預(yù)警系統(tǒng):冷卻水和氣氛控制中超壓和冷卻能力不足時(shí),有安全連鎖和必要預(yù)警。
電子束區(qū)域熔煉
區(qū)域熔煉設(shè)備是將提純的材料制成細(xì)棒,通過電子束加熱,使一小段固體熔融成液態(tài),熔融區(qū)域液相溫度僅比固態(tài)材料的熔點(diǎn)高幾度,稍加冷卻就會(huì)析出固相。熔融區(qū)沿著軸向緩慢移動(dòng),雜質(zhì)也隨著移動(dòng),最后富集于棒的端部。精煉時(shí)間通常為多個(gè)小時(shí),在試棒進(jìn)行區(qū)域熔煉之后,將端部雜質(zhì)含量高的部分切除,再進(jìn)行第二次、第H次提純處理,達(dá)到提純目的。運(yùn)用區(qū)域熔煉,不僅可以將雜質(zhì)均勻的滲透到晶體中去,而且在這一過程中,位錯(cuò)結(jié)構(gòu)缺陷、夾雜物等可以得到有效控制,甚至被消除。用區(qū)熔堆積法可以制備單晶。
規(guī)格參數(shù)
電子束區(qū)域熔煉參數(shù):