OTF-1100X-15-III 1100℃電動(dòng)開啟式三溫區(qū)管式爐
應(yīng)用范圍：OTF-1100X-15-III是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐，采用15英寸石英爐管及不銹鋼密封法蘭（安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表）。爐體設(shè)計(jì)為電動(dòng)開啟式。三個(gè)溫區(qū)獨(dú)立控制，可設(shè)置30段升降溫曲線，帶有超溫和短偶保護(hù)，控溫精度為+/-0.5 oC。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種材料在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下的熱處理。
產(chǎn)品型號(hào)：OTF-1100X-15-III
上架時(shí)間 ：2019-07-30
安裝尺寸：2300L x 1500W x 1400 H mm
重量：300kg
OTF-1100X-15-III是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐，采用15英寸石英爐管及不銹鋼密封法蘭（安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表）。爐體設(shè)計(jì)為電動(dòng)開啟式。三個(gè)溫區(qū)獨(dú)立控制，可設(shè)置30段升降溫曲線，帶有超溫和短偶保護(hù)，控溫精度為+/-0.5 oC。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種材料在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下的熱處理。
性能指標(biāo)和基本配置
型號(hào) OTF-1100X-15-III
爐體結(jié)構(gòu) ● 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度< 70°C.
● 加熱元件：SiC棒
● 設(shè)備中配有2個(gè)氧化鋁管堵，以保證爐膛內(nèi)部溫度均勻性（爐體加熱前，管堵必須塞入到爐管內(nèi)部）
● 此管式爐可作為退火或擴(kuò)散管式爐（6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架裝載）
● 電動(dòng)開啟式設(shè)計(jì)，使得用戶操作更加簡便
● 結(jié)構(gòu)圖氧化鋁管堵晶片裝載電動(dòng)開啟
加熱區(qū)
● 總加熱區(qū)長度1000mm
● 三個(gè)加熱區(qū): 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone)
工作溫度 ● 最高工作溫度1100℃
● 最高加熱速率：10℃/min
● 加熱元件：SiC棒（36根）
溫控系統(tǒng) 控溫精度為+/-0.5℃
爐管
● 15英寸高純石英爐管：尺寸：400mm OD. x 388mm ID. x 1860mm L
● 注意：石英爐管易碎，操作需謹(jǐn)慎
真空密封&法蘭
● 一對不銹鋼真空密封法蘭（鉸鏈?zhǔn)剑?個(gè)硅膠密封圈，可使?fàn)t管內(nèi)真空度達(dá)到10^-3torr（采用機(jī)械泵抽真空）
● 左端法蘭：安裝有不銹鋼針閥，Φ6.35的進(jìn)氣口
● 右端法蘭：KF40
真空泵接口Φ6.35鎧裝接口（用于熱偶插入到爐管內(nèi)，測量爐管內(nèi)溫度和進(jìn)行溫度校準(zhǔn)）
可選
● 此管式爐需定期校準(zhǔn)，以保證溫度的準(zhǔn)確性和均勻性，我們可提供簡單的校準(zhǔn)工具：
1根1200mm的K型鎧裝熱偶
1個(gè)Omega溫度校準(zhǔn)儀表
此型號(hào)管式爐只可選用機(jī)械泵，且最低真空度只能夠抽到-0.05MPa，否則可能造成爐管損傷
4'' ~ 8'' 晶片石英支架
● 可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備
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河南 - 鄭州
2025年03月28日 ~ 30日
京公網(wǎng)安備 11010702002294號(hào)
