管式爐

爐管尺寸：外徑φ50

加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Alloy doped by Mo）

加熱區(qū)長度：440mm

恒溫區(qū)長度：200mm（±1℃）

工作溫度：1100℃

最高溫度：1200℃

控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度：±1℃

升溫速度：20℃/min

爐門結(jié)構(gòu)：開啟式

工作電源：AC220V/50Hz

額定功率：3KW

射頻電源

信號頻率：13.56MHz±0.005%

功率輸出范圍：5W-500W

最大反射功率：200W

射頻輸出接口：5Ω，N-type，female

功率穩(wěn)定度：±0.1%

諧波分量：-50dbc

供電電壓：單相交流（187V-253V），頻率50/60Hz

整機效率：≥70%

功率因素：≥90%

冷卻方式：強制風冷

供氣系統(tǒng)

外形尺寸：600*600*650mm

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭

標準量程（N₂）：100sccm、200sccm、500sccm

準確度：±1.5%

線性：±0.5%~1.5%

重復精度：±0.2%

響應(yīng)時間：氣特性：1~4Sec，電特性：10Sec

工作壓差范圍：0.1~0.5MPa

最大壓力：3MPa

接口：φ6，1/4"

顯示：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管：φ6

壓力真空表：-0.1~0.15MPa，0.01MPa/格

截止閥：φ6

低真空機組

技術(shù)參數(shù)：

功率：0.4KW（4級）

極限壓力：5*10^-1（Pa）

外型尺寸：600*600*650mm

電阻真空計參數(shù)：

1.配用規(guī)管：電阻規(guī)

2.測量范圍：10⁵—5*10^-1Pa

3.測量路數(shù)：1路

4.控制范圍：5*10³—5*10^-1Pa

5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力AC220V/3A（或DC28V/3A)無感負載

6.電源：90-260V/50Hz或220V±10% 50Hz

7.功耗：20W

預熱爐

工作溫度：350℃

最高溫度：400℃

最快升溫速率：30℃/min

推薦升溫速率：10℃/min

控溫方式：智能化30段可編程控制