儀器簡(jiǎn)介

電子探針(EPMA)是用極細(xì)的電子束對(duì)樣品表面進(jìn)行照射產(chǎn)生特征性X射線(xiàn)，對(duì)特征性X射線(xiàn)進(jìn)行分光和強(qiáng)度測(cè)定，得到微小區(qū)域的元素組成及樣品表面元素濃度分布的分析裝置。EPMA 采用波長(zhǎng)色散型X 射線(xiàn)分光器(WDS)，與能量色散型X 射線(xiàn)分光器(EDS)相比，具有高分辨率的特點(diǎn)。本實(shí)驗(yàn)室裝備有日本島津公司生產(chǎn)的EPMA-1720電子探針顯微分析儀，配備4道波譜儀，同時(shí)配備AZtec X-Max 80牛津能譜儀，可對(duì)試樣進(jìn)行微小區(qū)域成分分析，可對(duì)5B～92U范圍的元素進(jìn)行定性和定量分析。

性能指標(biāo)

分光晶體：2 個(gè)/ 道(自動(dòng)晶體交換)

分光器數(shù)：4道

分析元素：4Be～92U

能量分辨率：>127eV(MnKα處)

加速電壓： 0.1～30 kV(0.1kV步進(jìn)。5kV 以下可以10V 步進(jìn)設(shè)定)

二次電子像分辨率：W燈絲：6 nm(加速電壓30 kV)

放大倍率：40倍～400,000倍(WD = 6.35mm分析高度)

最大分析區(qū)域：90mm × 90mm

主要功能和應(yīng)用：

形貌分析：材料微區(qū)內(nèi)的二次電子、背散射電子、特征X射線(xiàn)、吸收電子成像等形貌信息。

定性分析：材料微區(qū)內(nèi)化學(xué)成分定性分析 (全元素分析)、線(xiàn)掃描分析(得到層成分分布信息)、面掃描分析(得到成分面分布圖像)。

定量分析：材料微區(qū)內(nèi)全元素有標(biāo)定量分析。

狀態(tài)分析：材料微區(qū)內(nèi)元素所處的化學(xué)狀態(tài)分析。

測(cè)試項(xiàng)目

定性分析、線(xiàn)掃描分析、面掃描分析、定量分析、元素狀態(tài)分析

樣品要求

樣品直徑不要超過(guò)30mm，樣品高度不要超過(guò)20mm，樣品表面要盡量平整(拋光)，樣品要導(dǎo)電。