臥式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）
臥式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）是一款專為以
硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層和基體改性工藝設(shè)計(jì)的高端設(shè)備。該設(shè)備采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能夠精密控制MTS流量和壓力，確保爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)小。其特殊結(jié)構(gòu)的沉積室密封性好，抗污染能力強(qiáng)，多通道沉積氣路設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果優(yōu)異。此外，設(shè)備配備專用防腐蝕真空機(jī)組，可有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低。主要配置包括多種爐門升降方式、全碳鋼或不銹鋼爐殼、軟碳?xì)只蚴珰譅t膽、等靜壓石墨加熱器，以及先進(jìn)的工藝氣路系統(tǒng)和高精度熱電偶，最高溫度可達(dá)1500℃，溫控精度為±7.5℃，滿足高精度化學(xué)氣相沉積工藝需求。
核心參數(shù)
非金屬電熱元件：其他
金屬電熱元件：其他
燒結(jié)氣氛：真空
溫控精度：±7.5
最高溫度：1500
額定溫度：1500
化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。
技術(shù)特征
☆ 采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍?。?
☆ 采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
☆ 采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；
☆ 對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理；
☆ 采用**設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低。
產(chǎn)品規(guī)格
主要配置
☆ 爐門：絲桿升降/液壓升降/手動(dòng)升降；旋轉(zhuǎn)移開(kāi)/平行移開(kāi)（大尺寸爐門）；手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊
☆ 爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
☆ 爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC
☆ 加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
☆ 工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)
☆ 熱電偶：K分度號(hào)/N分度號(hào)/C分度號(hào)/S分度號(hào)
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河南 - 鄭州
2025年03月21日 ~ 23日
京公網(wǎng)安備 11010702002294號(hào)
