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立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）

立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）

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規(guī)格/型號：VCVD-0305-SIC
品牌：頂立科技
應(yīng)用領(lǐng)域：冶金
產(chǎn)地：湖南 - 長沙
廠家/供應(yīng)商：湖南頂立科技股份有限公司
咨詢電話:：4006770098（請說明信息源自“中冶有色技術(shù)網(wǎng)”）
更新時(shí)間：2025-02-18
級別：待認(rèn)證

立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）說明介紹

立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）

立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）


立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）是專為冶金及材料科學(xué)領(lǐng)域設(shè)計(jì)的高端設(shè)備，廣泛應(yīng)用于外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導(dǎo)體坩堝、陶瓷基復(fù)合材料等的表面涂層、基體改性及復(fù)合材料制備。設(shè)備采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能夠精密調(diào)控MTS流量和壓力，確保爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)極小。其全密閉沉積室密封效果好，抗污染能力強(qiáng)，多通道工藝氣路設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)流場均勻，無沉積死角，沉積效果優(yōu)異。此外，設(shè)備配備多級高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好且安全可靠。最高溫度可達(dá)1500℃，溫控精度為±5℃，適配真空、CH?、H?、N?、Ar、BCI?、NH?、MTS等多種工藝氣氛，滿足復(fù)雜的冶金及材料制備需求。

核心參數(shù)

非金屬電熱元件：其他

金屬電熱元件：其他

燒結(jié)氣氛：真空

溫控精度：±5

最高溫度：1500

額定溫度：1500

產(chǎn)品描述：

立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）可用于材料的表面涂層、基體改性、復(fù)合材料制備等

應(yīng)用范圍：

外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導(dǎo)體坩堝、陶瓷基復(fù)合材料等

技術(shù)特征

采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍小；

全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

多級高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；

可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長，維修率極低；

使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。

產(chǎn)品規(guī)格

立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）

配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬

熱電偶：K/N/C/S分度號

真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組

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所屬領(lǐng)域：
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