超高溫硼化物沉積爐
湖南頂立科技的超高溫硼化物沉積爐(型號:HCVD-101015-ZrC)是一款專為冶金及
新材料領域設計的高性能熱工裝備,廣泛應用于超高溫硼化物(如ZrB?、HfB?、TaB?等)的沉積工藝。該設備采用先進的控制技術,能夠精密控制H?、C?H?等工藝氣體的流量和壓力,確保爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動小。其全密閉沉積室設計密封效果優(yōu)異,抗污染能力強,同時多通道工藝氣路可實現(xiàn)流場均勻分布,避免沉積死角,顯著提升沉積效果。此外,設備配備多級高效尾氣處理系統(tǒng),能夠有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體及低熔點粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好。
品牌:頂立科技
產(chǎn)地:湖南
型號:HCVD-101015-ZrC
核心參數(shù)
溫控精度:±5~±20
最高溫度:2000
額定溫度:2000
非金屬電熱元件:其他
金屬電熱元件:其他
燒結(jié)氣氛:其他
超高溫硼化物沉積爐技術特征
采用先進的控制技術,能精密控制H2、C3H6的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動??;
全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
多級高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;
可選配新設計的防腐蝕真空機組,持續(xù)工作時間長,維修率低;
適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。
超高溫硼化物沉積爐產(chǎn)品規(guī)格
超高溫硼化物沉積爐配置選擇
結(jié)構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動/自動
爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC
熱電偶:C/S分度號
紅外儀:單比色/雙比色