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離子束濺射鍍膜系統(tǒng)

離子束濺射鍍膜系統(tǒng)

228
規(guī)格/型號：暫無
品牌：好智多
應(yīng)用領(lǐng)域：材料加工
產(chǎn)地：遼寧 - 沈陽
廠家/供應(yīng)商：沈陽好智多新材料制備技術(shù)有限公司
咨詢電話:：024-8809657（請說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”）
更新時間：2025-02-26
級別：待認證

離子束濺射鍍膜系統(tǒng)說明介紹

離子束濺射鍍膜系統(tǒng)

離子束濺射鍍膜系統(tǒng)


設(shè)備用途：

設(shè)備用于各種金屬薄膜、半導(dǎo)體薄膜、介質(zhì)薄膜、超晶格薄膜、集成光學(xué)薄膜、多層薄膜和薄膜器件的制備。該系統(tǒng)可以與磁控濺射系統(tǒng)結(jié)合，單獨也可以同時進行磁控濺射鍍膜和離子束濺射鍍膜膜，也可以聯(lián)合制備磁控和離子束濺射復(fù)合膜。樣品通過磁力進樣機構(gòu)實現(xiàn)在兩個真空室之間的傳遞。整個系統(tǒng)具有用離子束制備超薄膜到中厚膜和用磁控濺射制備中厚膜到厚膜的全部功能
離子束濺射鍍膜系統(tǒng)
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所屬領(lǐng)域：
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