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BC?光斑激光開(kāi)膜設(shè)備:
采用海目星自研光源激光技術(shù)作為底層架構(gòu),利用通過(guò)激光在電池表面對(duì)掩膜進(jìn)行刻蝕,利用該技術(shù)實(shí)現(xiàn)高效背接觸電池(XBC)的圖形化生產(chǎn),實(shí)現(xiàn)替代傳統(tǒng)光刻技術(shù),快速、低損、高效去膜。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
整機(jī)采用工業(yè) PC 控制、模塊化柔性化編程設(shè)計(jì);
設(shè)備實(shí)現(xiàn)雙線供上/下料,操作方便;
滿足 AGV 雙層雙線同步上/下料,減少 AGV 對(duì)接需求及機(jī)臺(tái)數(shù)量 ;
根據(jù)客戶需求定制,實(shí)現(xiàn)無(wú)損、高產(chǎn)能、高精度、高效率 ;
高精度視覺(jué)定位,高速柔性機(jī)構(gòu)傳輸 ;
加工過(guò)程,硅片自動(dòng)傳輸 快速、低損、高效去膜;
除塵結(jié)構(gòu)內(nèi)部流場(chǎng)的最優(yōu)解,對(duì)粉塵攜帶能力強(qiáng);
高精準(zhǔn)性以防止電池漏電,降低成本;
更細(xì)小的電池單位結(jié)構(gòu),更小的金屬接觸開(kāi)孔和更靈活的設(shè)計(jì);
基本信息:
運(yùn)行模式:離線
設(shè)備尺寸(長(zhǎng)×寬×高mm):5500*3000*2550(不包含三色燈,除塵機(jī),冷水機(jī))
適用硅片尺寸(mm):182*182-230*230
適用硅片厚度(um):≥110um
上下料方式:手動(dòng)上下料/AGV上下料
產(chǎn)品性能:
圖形精度:±15um
對(duì)準(zhǔn)精度:≤±15um@182@mark點(diǎn);≤±25um@182@輪廓
設(shè)備產(chǎn)能:>4000pcs/h
碎片率:≤0.03%