TOPCon激光摻雜設(shè)備：

將BSG(硼硅玻璃)作為摻雜源時(shí)，先通過(guò)擴(kuò)散爐推進(jìn)高硼表面濃度的P++層，但不進(jìn)行氧化，以P++層作為激光摻雜源，再進(jìn)行激光摻雜和氧化工藝，能夠在解決硼摻濃度問(wèn)題的同時(shí)簡(jiǎn)化選擇發(fā)射極的制備工藝流程。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

采用海目星自主研發(fā)激光器及特殊光路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)BSG激光直摻;

根據(jù)客戶需求定制，實(shí)現(xiàn)無(wú)損、高產(chǎn)能、高精度、高效率的激光摻雜;

精密視覺(jué)定位，高速柔性機(jī)構(gòu)傳輸，碎片率低于0.02%;

基本信息：

設(shè)備尺寸：長(zhǎng)×寬×高：5500*2300*2500(不包含三色燈，除塵機(jī)，冷水機(jī))

適用硅片尺寸：166/182/210/230

生產(chǎn)場(chǎng)地空間：長(zhǎng)×寬×高：9600x3260x2800

產(chǎn)品性能：

破片率：≤0.02%

圖形精度：±15um

對(duì)準(zhǔn)精度：±15um

產(chǎn)能：182尺?≥8400pcs/h(柵線數(shù)量<132);210尺?≥7300pcs/h(柵線數(shù)量<152)