FZ-14 區(qū)熔晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)是專為工業(yè)生產(chǎn)直徑達(dá)100毫米(4英寸)的單晶硅晶體而設(shè)計(jì)。根據(jù)源棒的尺寸，可以拉出長(zhǎng)度達(dá)1. 1米的晶體。在這個(gè)過(guò)程中，晶體的直徑和液體區(qū)的高度可以通過(guò)攝像系統(tǒng)來(lái)監(jiān)測(cè)。并且該系統(tǒng)的上部主軸和線圈都是自動(dòng)定位的。該系統(tǒng)采用無(wú)接觸熔化工藝，通過(guò)使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體，產(chǎn)生高極限真空環(huán)境，有效地防止了工藝過(guò)程中的污染，同時(shí)還能將氮?dú)庖允芸氐姆绞揭牍に嚑t體。

PVA TePla為您提供更多個(gè)性化選擇，例如用于摻雜的氣體摻雜系統(tǒng)、封閉式去離子冷卻水系統(tǒng)、原料棒的修整器和調(diào)整籽晶方向的系統(tǒng)。

產(chǎn)品數(shù)據(jù)概覽:

材料：硅

晶體

晶體 1,100 mm

晶體拉動(dòng)長(zhǎng)度： 長(zhǎng)達(dá)100 mm (4″)

晶體直徑： 2.5 x 10-5 mbar

極限真空度： 0.5 bar(g)

發(fā)電機(jī)

輸出電壓： 30 kW

頻率： 2.4 MHz

上軸

進(jìn)料速度： 最高30 mm/min

上部旋轉(zhuǎn)： 最高35 rpm

下軸

拉動(dòng)速度： 最高 30 mm/min

下部旋轉(zhuǎn)： 最高 30 rpm

尺寸規(guī)格

高度 6,280 mm

寬度： 2,750 mm

深度： 3,000 mm

重量(總)： 約 4,900 kg