KLA inano/ imicro型-納米壓痕儀

iMicro納米壓痕儀可輕松測量硬涂層，薄膜和少量材料。該儀器準確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試。 可互換的驅(qū)動器能夠提供大動態(tài)范圍的力荷載和位移，使研究人員能夠?qū)浘酆衔锏接操|(zhì)金屬和陶瓷等材料做出精確及可重復的測試。模塊化選項適用于各種應用：材料性質(zhì)分布、特定頻率測試、刮擦和磨損測試以及高溫測試。 iMicro擁有一整套測試擴展的選項，包括樣品加熱、連續(xù)剛度測量、NanoBlitz3D / 4D性質(zhì)分布，以及Gemini 2D力荷載傳感器，可以提供摩擦和其他雙軸測量。

產(chǎn)品描述

iMicro采用InForce 1000驅(qū)動器進行納米壓痕和通用納米機械測試，并可選擇添加InForce 50驅(qū)動器來測試較軟的材料。InView軟件是一個靈活的現(xiàn)代軟件包，可以輕松進行納米級測試。iMicro是內(nèi)置高速InQuest控制器和隔振門架的緊湊平臺。 可以測試金屬、陶瓷、復合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物材料和凝膠等各種不同的材料和器件。

主要功能

InForce 1000驅(qū)動器，用于電容位移測量，并配有電磁啟動的可互換探頭

可選的InForce 50驅(qū)動器提供最大50mN的法向力來測量軟性材料，并提供可選的Gemini 2D力荷載傳感器用于雙軸動態(tài)測量。獨特的軟件集成探頭校準系統(tǒng)，可實現(xiàn)快速準確的探頭校準

InQuest高速控制器電子設備，具有100kHz數(shù)據(jù)采集速率和20μs時間常數(shù)

XY移動系統(tǒng)以及易于安裝的磁性樣品架

高剛度龍門架，集成隔振功能

帶數(shù)字變焦的集成顯微鏡，可實現(xiàn)精確的壓痕定位

ISO 14577和標準化測試方法

InView軟件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus報告、InView大學在線培訓和InView移動應用程序

主要應用

硬度和模量測量(Oliver Pharr)

高速材料性質(zhì)分布

ISO 14577硬度測試

聚合物tan delta，儲存和損耗模量

定量刮擦和磨損測試

樣品加熱

工業(yè)應用

大學、研究實驗室和研究所

半導體行業(yè)

PVD / CVD硬涂層(DLC，TiN)

MEMS(微機電系統(tǒng))/納米級通用測試

陶瓷和玻璃

金屬和合金

制藥

涂料和油漆

復合材料

電池和儲能

汽車和航空航天