一種以冶金法去除
多晶硅造渣劑中硼元素的方法,將廢棄的多晶硅造渣劑與高純硅料混合后,于中頻感應(yīng)爐中熔煉,1800~2200℃下攪拌并保溫15~60min,使硼反擴(kuò)散至硅中,后靜置5~10min,將熔體傾倒至耐火容器中,冷卻,切除硅料的一端,其余部分即為去除硼元素的多晶硅造渣劑。本發(fā)明的方法可有效去除多晶硅中的雜質(zhì)硼元素,使其降低至0.5~2ppmw,可以達(dá)到造渣劑的水平,造渣劑的再生利用可降低整條生產(chǎn)線的成本5%以上,并能節(jié)約造渣劑成本10%以上。
聲明:
“以冶金法去除多晶硅造渣劑中硼元素的方法及制備的再生造渣劑” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)