本發(fā)明公開(kāi)了一種氧化鋅鎂靶材及制備方法,屬于半導(dǎo)體光電材料、磁控濺射鍍膜和
粉末冶金燒結(jié)技術(shù)領(lǐng)域。方法包括以下步驟:按設(shè)計(jì)組分別取ZnO和MgO粉末原料;采用分段球磨、濕法制坯、分段脫脂、分段燒結(jié)、機(jī)加工、磨制等工藝,對(duì)粉末原料進(jìn)行處理;按本發(fā)明提出的方法,可獲得一種致密度高、純度有保障、無(wú)缺陷、晶粒均勻且細(xì)小、不容易開(kāi)裂的氧化鋅鎂靶材成品。
聲明:
“氧化鋅鎂靶材及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)