本發(fā)明提供一種鍍膜件的制備方法,其包括如下步驟:提供基材;采用
粉末冶金法,以金屬銅粉和鐵粉為原料制備銅鐵復合靶;采用磁控濺射法,以銅鐵復合靶為靶材在基材表面濺射形成銅鐵合金層。本發(fā)明所述銅鐵合金層的制備利用銅和鐵原子同時濺射并沉積于基材表面以及較低的沉積溫度,制備出超飽和的銅鐵合金。所述鍍膜件的制備方法工藝穩(wěn)定、可靠且環(huán)保。本發(fā)明還提供一種由上述方法制得的鍍膜件。
聲明:
“鍍膜件的制備方法及由該方法制得的鍍膜件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)