本發(fā)明公開了梯度陶瓷鎳多層膜及其化學(xué)熱處理制備方法;包括如下步驟:在需要表面強(qiáng)化的具有碳化物或氮化物形成能力的金屬基體表面利用物理氣相沉積方法交替沉積第一步和第二步所述的靶材,對(duì)樣品進(jìn)行加壓熱處理,促進(jìn)金屬元素層間互擴(kuò)散;對(duì)樣品進(jìn)行滲碳處理或滲氮處理滲碳處理或滲氮處理,使過渡金屬/鎳多層膜轉(zhuǎn)變?yōu)樘沾?鎳多層膜。本發(fā)明方法制備的梯度陶瓷/鎳多層膜具有漸變的層厚、層厚比以及陶瓷晶粒尺寸,形成梯度結(jié)構(gòu)多層膜,提高了多層膜的強(qiáng)韌性;同時(shí),加壓熱處理以及通過滲碳或滲氮形成陶瓷層的工藝促進(jìn)了層間界面的金屬元素互擴(kuò)散,形成了具有冶金結(jié)合的高強(qiáng)度層間界面和膜基界面,顯著提高了膜層的綜合力學(xué)性能。
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“梯度陶瓷鎳多層膜及其化學(xué)熱處理制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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