本實用新型提供了一種半導體真空燒結(jié)機構(gòu),包括爐體和鉸接安裝在所述爐體上的爐蓋,所述爐蓋可做蓋合或打開狀態(tài)的切換;還包括沿橫向從左至右依次設置的預熱部、真空燒結(jié)部和冷卻部,通過爐蓋與爐體的鉸接式結(jié)構(gòu)設計,制造成本低,便于裝拆和爐體的維護,同時通過依次設置的預熱部、真空燒結(jié)部和冷卻部,以完成流水線式連續(xù)的預熱、真空燒結(jié)和冷卻工作,工作周期較短,制造成本較低,預熱部多個預熱模塊的設置可以根據(jù)工藝需求設置預熱溫度、升溫速度和升溫時間;真空燒結(jié)部中活動式罩殼的設置可以在真空燒結(jié)過程中與支撐臺形成具有一定負壓的空間進行燒結(jié),并在真空燒結(jié)完成后遠離支撐臺以便進行物料的輸送。
聲明:
“半導體真空燒結(jié)機構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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