本實用新型公開了一種氮化硅用臥式真空燒結爐,包括底座和爐體,所述底座的表面中部設有安裝槽,在安裝槽內放置有螺旋纏繞的勵磁繞組,所述底座的表面前端左右兩側分別設有高頻電力轉換裝置和控制開關組,所述勵磁繞組的輸入端電連接高頻電力轉換裝置的輸出端,所述高頻電力轉換裝置的輸入端電連接控制開關組的輸出端,位于安裝槽兩側的底座表面對稱焊接有支架,在支架的頂端安裝有軸承座,所述爐體通過兩端的第一轉軸水平的轉動設在軸承座之間,且爐體位于勵磁繞組的上端。本氮化硅用臥式真空燒結爐,采用與現(xiàn)有技術不同的非接觸加熱方式,加熱效果較好,并且設有攪拌裝置,加熱效果較好,與氮氣反應充分,效率較高,使用方便。
聲明:
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