一種從晶硅切割廢砂漿中提取高純度碳化硅的方法，1)將廢砂漿經(jīng)濾袋過濾后引入到調(diào)配罐中，在調(diào)配罐中加入調(diào)配液，攪拌、存貯；2)將存貯后的廢砂漿送入1#離心機(jī)，得到一級(jí)濾液和一級(jí)濾砂；3)將一級(jí)濾砂送入攪拌罐，加水?dāng)嚢瑁?)在攪拌罐中加入調(diào)配液，攪拌、存貯，送入2#離心機(jī)，得二級(jí)濾液和二級(jí)濾砂；5)將二級(jí)濾砂送入攪拌罐，加水?dāng)嚢?，回收硅粉?)將一級(jí)濾液和二級(jí)濾液混合引入攪拌罐，加入均化劑攪拌，攪拌后送入壓濾機(jī)，濾液用于硅片切割生產(chǎn)線，濾餅裝袋進(jìn)庫；7)將濾餅粉碎，送入微波處理設(shè)備；8)將微波處理后的濾餅放入烘箱中烘干，加入過量碳源，放入球磨罐中，球磨后得到混合粉體；9)在真空燒結(jié)設(shè)備中使硅與碳完全反應(yīng)；10)在空氣中，將反應(yīng)產(chǎn)物加熱，燒掉殘留碳，得到高純碳化硅。