一種制備荷葉類金剛石膜的鍍膜技術(shù),該技術(shù)以等離子全方位離子沉積設(shè)備為依托,將八氟環(huán)丁烷、一甲基
硅烷、二甲基硅烷等氣體輸入到真空罐內(nèi),通過等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積方法在工件表面鍍荷葉類金剛石膜。鍍膜主要包括等離子清洗、等離子滲氮、過渡層鍍膜、類金剛石鍍膜、荷葉膜鍍膜等五個步驟。荷葉類金剛石膜具有很高的硬度,由于和荷葉表面有著類似的構(gòu)造因此具有極低的表面能,鑒于荷葉類金剛石膜的高耐磨和疏水性能,它可以成功應(yīng)用在煤礦篩網(wǎng)、金屬模具、航空航天飛行器機(jī)翼、輸油管道等領(lǐng)域。
聲明:
“荷葉類金剛石膜的鍍膜工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)