本發(fā)明涉及一種硅片切割刃料的生產(chǎn)方法。該方法以高純度綠碳化硅為原料,經(jīng)由顎式破碎并過篩、自動(dòng)循環(huán)式濕法球磨和水力旋流分級(jí)、自動(dòng)溢流式除碳、磁選自動(dòng)除鐵、堿洗、清洗、PLC自動(dòng)控制溢流分級(jí)、離心脫水、烘干、混配、精篩等步驟而制成的硅片切割刃料。用該方法制備的碳化硅刃料為等積形且保持尖銳的棱角,切割能力強(qiáng);刃料顆粒具備大的比表面積和清潔的外表,與聚乙二醇等切削液有很強(qiáng)的適配性;采用自動(dòng)循環(huán)濕法球磨和旋流分級(jí)進(jìn)行粉碎的產(chǎn)品等積形多,粒型好且產(chǎn)量高,避免了過粉碎;采用自動(dòng)磁選無酸除鐵效率高且環(huán)保,自動(dòng)化程度高,非常適合大規(guī)模生產(chǎn)。用該方法粉磨后的產(chǎn)品粒徑集中度高且粒型好,可以達(dá)到更好的切割效果。
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“硅片切割刃料的生產(chǎn)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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