真空退火爐
真空退火爐是一種臥式結(jié)構(gòu)的高效熱處理設(shè)備,具備不銹鋼雙層水冷真空爐體和前門觀察窗。其系統(tǒng)空載極限真空度可達≤8x10??Pa,工作真空度在800℃時保持≤1x10?3Pa,泄漏率不大于1x10??Pa/L·s。分子泵能在30分鐘內(nèi)將真空度降至1x10?3Pa,壓升率控制在0.67Pa/h以內(nèi)。最高加熱溫度可達1300℃,工作爐溫范圍為600℃至1250℃,溫度均勻性為±4℃,測溫精度±1℃,升溫速度和降溫速率可控。該設(shè)備采用導(dǎo)電智能控溫表,確保精確的溫度控制。
一、技術(shù)指標(biāo):
1、設(shè)備結(jié)構(gòu)形式:臥式、前開門(鉸鏈結(jié)構(gòu))、不銹鋼材料,雙層水冷真空爐體、前門帶有觀察窗;
2、系統(tǒng)空載極限真空度:≤8x10-6Pa;
工作真空度:正常工作2小時,保溫300℃-400℃后,開始加熱至800℃,工作真空度:≤1x10-Pa(800℃);真空泄漏率不大于1x10-Pa/L"S.
3、分子泵啟動正常工作30分鐘后,真空度進入1x10-3Pa;
4真空熱處理爐壓升率,應(yīng)小于0.67PPa/h,使用中的真空熱處理爐壓升率不應(yīng)高于1.33Pa/h
5、最高加熱溫度:1300℃,工作爐溫:600℃C-1250℃;溫度均勻性:+4℃;有效區(qū)測溫精度:±1℃;最大升溫速度:25C/min,可控降溫速率:30C/;采用導(dǎo)電智能控溫表