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高真空管式氮化爐

高真空管式氮化爐

274
規(guī)格/型號：暫無
品牌：沈陽騰鰲
應用領域：冶金
產地：遼寧 - 沈陽
廠家/供應商：沈陽騰鰲真空技術有限公司
咨詢電話:：13804984297（請說明信息源自“中冶有色技術網”）
更新時間：2025-01-30
級別：待認證

高真空管式氮化爐說明介紹

高真空管式氮化爐

高真空管式氮化爐


系統(tǒng)主要技術指標:

1、總體結構:采用臥式管式外加熱爐結構，管式爐左端為抽氣系統(tǒng)，右端為手套箱系統(tǒng);整機安裝在可移動臺架上。

2、系統(tǒng)極限真空度:7x10-pa;工作真空度:5x10-pa，抽真空時間<2h(分子泵滿轉開始計時);系統(tǒng)漏率:1x107PaL/s。

3、抽氣系統(tǒng):

采用國產分子泵與機械泵組成抽氣系統(tǒng)，配有國產閥門、管道、真空計等。

4、臥式管式真空室以及加熱控溫:采用管式外加熱方式，管式真空室內經中250m，加熱部分長約550m，加熱溫度范圍:室溫~450℃，樣品表面溫度250;均勻區(qū):軸向長度250mm，控溫精度為:10℃℃。

5、工件系統(tǒng):

5.1、樣品臺通過文架安裝在真空室門上，工作時樣品臺位于均溫區(qū)中心，樣品為圓形薄片，厚度3m，直徑<100mm;

5.2、樣品與真空室絕緣，耐壓能力高于3000V
5.3、移動:真空室門手動開關，通過支架帶動樣品臺進出真空室;

5.4、偏壓通過電纜引入樣品臺底部，經過不銹鋼電極接觸樣品下表面

5.5、樣品與樣品臺良好接觸避免打火;5.6、樣品臺及實驗樣品的加熱通過爐壁傳熱來實現(xiàn)。樣品臺及樣品的加熱溫度(加熱爐加熱時)范圍在室溫~250℃。

6、偏壓電源:5KW，電壓最大2kv，占空比10%-80%可調脈沖頻率40~60KHZ可調。具有過流、過熱、缺水、打火保護及自動滅弧功能。

7、手套箱:

7.1、手套箱采用無額頭二工位雙面操作薄壁手套箱，左側面設計真空室對接連接口，右側帶有樣品進出接口法蘭，上部帶有排氣口。(按照最終設計為準);

7.2、手套箱總長1274mm，高729mm，寬700mm;

7.3、手套箱底部安裝軌道與真空室門支架連接，實現(xiàn)真空室門的開關和樣品臺進出操作

8、氣路系統(tǒng):工藝氣體為N、Ar;通過兩路國產質量流量計控制進氣。

9、系統(tǒng)配有冷卻循環(huán)水裝置。

10、系統(tǒng)具有斷水斷電聯(lián)鎖保護功能。
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沈陽騰鰲真空技術有限公司
企業(yè)認證：
  
所屬領域：
冶金
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聯(lián)系電話：
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