高真空電阻熱蒸發(fā)系統(tǒng)
高真空電阻熱蒸發(fā)系統(tǒng)是一種專為冶金和材料科學(xué)領(lǐng)域設(shè)計的先進設(shè)備，它在高真空環(huán)境下進行材料的蒸發(fā)和沉積，廣泛應(yīng)用于制備薄膜、
納米材料以及進行材料表面改性等。該系統(tǒng)由高真空獲得與測量系統(tǒng)、樣品臺或工件轉(zhuǎn)架系統(tǒng)、有機（OLED）/金屬蒸發(fā)源系統(tǒng)及電氣控制系統(tǒng)等四部分組成，確保了蒸發(fā)過程的精確控制和高效進行。
在冶金行業(yè)中，高真空電阻熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以用來制備高性能的金屬薄膜，這些薄膜可以用于制造高性能的催化劑、傳感器和電子器件。此外，該系統(tǒng)還可以用于修復(fù)和保護金屬表面，提高材料的耐腐蝕性和耐磨性，從而延長材料的使用壽命。
高真空機組采用復(fù)合分子泵和機械泵組成，能夠達到極限真空度≤6.7×10^-5Pa，漏率≤10^-7Pa·L/s，為蒸發(fā)過程提供了理想的高真空環(huán)境。樣品臺或工件轉(zhuǎn)架系統(tǒng)可以根據(jù)工藝需要靈活定制所需功能，多種蒸發(fā)源可選，全部模塊化設(shè)計，標(biāo)準(zhǔn)接口法蘭，可選配膜厚控制儀，進行在線測量和監(jiān)控。
電氣控制系統(tǒng)具有多種報警功能，能及時提示故障情況，保障設(shè)備安全運行?？蛇x配工藝系統(tǒng)如手套箱工作站、樣品預(yù)處理室、自動樣品庫等，進一步增強了設(shè)備的靈活性和自動化程度。這些特點使得高真空電阻熱蒸發(fā)系統(tǒng)成為冶金行業(yè)中不可或缺的重要工具，為材料科學(xué)的發(fā)展和工業(yè)應(yīng)用提供了強有力的技術(shù)支持。
一、設(shè)備主要功能及組成
1.設(shè)備主要由高真空獲得與測量系統(tǒng)、樣品臺或工件轉(zhuǎn)架系統(tǒng)、有機（OLED）/金屬蒸發(fā)源系統(tǒng)及電氣控制系統(tǒng)等四部分組成。
2.高真空機組采用復(fù)合分子泵和機械泵組成。
3.樣品臺或工件轉(zhuǎn)架系統(tǒng)可根據(jù)工藝需要靈活定制所需功能。
4.多種蒸發(fā)源可選，全部模塊化設(shè)計，標(biāo)準(zhǔn)接口法蘭。
5.可選配膜厚控制儀，進行在線測量和監(jiān)控。
6.電氣控制系統(tǒng)具有多種報警功能，能及時提示故障情況，保障設(shè)備安全運行。
二、主要技術(shù)參數(shù)
1．真空室尺寸：?450、?540、?650、?750、?1000、?1200（定制）
2．極限真空度：≤6.7×10-5Pa
3．漏率：≤10-7Pa·L/s
4．可選蒸發(fā)源：鎢絲蒸發(fā)舟、鉭蒸發(fā)舟、可控溫有機束源爐等
5．樣品臺：可在線升降、旋轉(zhuǎn)、襯底加熱、OLED可做在線多次無間隙掩膜
6．工件轉(zhuǎn)架：三軸聯(lián)動（公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)、單樣品自轉(zhuǎn)），增強鍍膜均勻性，可加熱
7．可選配工藝系統(tǒng)：手套箱工作站、樣品預(yù)處理室、自動樣品庫等
8．供電電源：380V50Hz（三相五線制）
9．進水排管徑：DN25
10．工作水壓：0.2Mpa
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云南 - 昆明
2025年03月20日 ~ 22日
