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硫族金屬化合物相變材料濺射靶材的生產(chǎn)方法

651 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:50:22

本發(fā)明涉及靶材生產(chǎn)制備領域，具體而言，涉及硫族金屬化合物相變材料濺射靶材的生產(chǎn)方法，按配比準備金屬化合物的原料；對原料進行真空熔煉處理，得到金屬化合物；將金屬化合物進行粉末冶金處理，得到干燥的金屬化合物粉末；將干燥的金屬化合物粉末進行真空熱壓燒結處理，得到塊狀的金屬化合物相變材料濺射靶材。本發(fā)明所述硫族金屬化合物相變材料濺射靶材的生產(chǎn)方法，生產(chǎn)一系列金屬化合物相變材料。這些材料，能夠?qū)崿F(xiàn)現(xiàn)有的金屬化合物相變材料的相變功能之外，且生產(chǎn)金屬化合物相變材料的成本降低。而且，制成的各種金屬化合物相變材料比傳統(tǒng)的GeSbTe金屬化合物相變材料熔點低，故其相變的溫度點也較低，使得工藝的窗口得到拓寬。

聲明：

“硫族金屬化合物相變材料濺射靶材的生產(chǎn)方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)