一種過濾有機污染物廢水的復合型微孔濾膜制備方法,通過在多孔材料上沉積鉭膜、摻雜金剛石薄膜,制備出具有良好導電特性的BDD-Ta-Ti復合型微孔濾膜,步驟包括:1)襯底預處理;2)鉭膜濺射;3)摻雜金剛石薄膜制備:在沉積金剛石薄膜之前,先要對HFCVD設備的熱絲進行表面碳化,以防止在金剛石形核和生長過程中熱絲發(fā)生碳化反應爭搶大量的碳源影響金剛石形核和生長,然后利用HFCVD工藝在襯底上沉積一層金剛石薄膜。本發(fā)明的優(yōu)點是:制備的薄膜質(zhì)量優(yōu)良,具有較強的抗污染能力,特別適用于石油工業(yè)、染料加工、機械制造等行業(yè)產(chǎn)生有機污染物廢水的過濾;該薄膜制備工藝條件簡單、容易操作、成本較低,易于推廣。
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