本實用新型公開了半導體行業(yè)研磨廢水回用為超純水的處理系統(tǒng),它包括彼此之間通過連接管路依次串聯(lián)相連的研磨廢水水箱、膜生物反應器、離子交換系統(tǒng)、清水箱、超濾系統(tǒng)、紫外線消毒系統(tǒng)、一級反滲透系統(tǒng)、脫氣裝置、二級反滲透系統(tǒng)、中間水箱、連續(xù)電去離子系統(tǒng)和產(chǎn)水箱,離子交換系統(tǒng)連接有再生系統(tǒng),膜生物反應器的清水出水口通過出水管線與清水箱的進水口相連,二級反滲透系統(tǒng)的濃水出口通過第二濃水管路與超濾系統(tǒng)的進水口相連,中間水箱的進水口通過中間水管路與脫氣裝置的出水口相連。采用本系統(tǒng)可得到電阻高達18MOhm-cm以上的高品質(zhì)純水。該套系統(tǒng)整體回收率高達75%,整體投資成本較低。
聲明:
“半導體行業(yè)研磨廢水回用為超純水的處理系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)