本發(fā)明公開了一種含氟硅廢水的深度處理技術，包括以下步驟：（1）將含氟水樣加熱升溫90?95℃后進行保溫10?20min；（2）在上述溶液中，緩慢加入藥劑1，邊加邊攪拌，攪拌速度在2～3r/s，加完后，蒸煮0.5～1h；（3）在上述溶液中，加入藥劑2，并調(diào)節(jié)pH至7～9，邊加邊攪拌，加完后保溫2～3h，保溫過程中攪拌速度在0.5～1r/s；（4）步驟（3）完成后即可進行水合物沉淀與溶液的分離，過濾濾液即為出水。本發(fā)明利用水熱合成過程，使溶液中氟、硅、磷等元素礦化形成穩(wěn)定水合物沉淀，并通過包覆、離子交換、吸附、絡合等作用進行深度除氟，過濾濾液即為出水，可實現(xiàn)達標排放。