本發(fā)明提出了一種BOE廢液制備氟化氫的方法及裝置，其中方法包括：BOE廢液與堿反應(yīng)，生成氟化鹽溶液和氨水；汽提蒸出氨氣；所述氟化鹽溶液經(jīng)過雙極膜電滲析分解為氫氟酸稀液和稀堿液；所述稀堿液加熱濃縮為濃堿液和廢水，所述濃堿液回用；所述氫氟酸稀液加熱蒸餾濃縮為濃氫氟酸和廢水；所述氫氟酸濃液與濃硫酸混合，得到氟化氫氣體和稀硫酸；所述稀硫酸加熱濃縮為濃硫酸和廢水，所述濃硫酸回用。本發(fā)明以芯片蝕刻BOE廢液為原料，經(jīng)過一系列處理后得到氟化氫產(chǎn)品，該過程中堿液、濃硫酸都進(jìn)行了循環(huán)利用，整個(gè)反應(yīng)過程實(shí)現(xiàn)了閉環(huán)，真正實(shí)現(xiàn)了變廢為寶，循環(huán)經(jīng)濟(jì)，綠色環(huán)保的價(jià)值取向，適合工業(yè)化推廣應(yīng)用。