本申請涉及
工業(yè)廢水處理和資源回收利用技術(shù)領(lǐng)域,具體公開了一種集成電路行業(yè)含氟廢液資源化利用的方法,包括:測定含氟廢液中SiF62?、F?和SO42?的濃度;向含氟廢液中加入氫氧化鈉的水溶液進行一次中和反應(yīng),得一次處理廢液和氟硅酸鈉;向一次處理廢液中加入氫氧化鈉進行二次中和反應(yīng),得二次處理廢液和氟化鈉;二次處理廢液經(jīng)過蒸發(fā)濃縮析出含有氟化鈉的沉淀物,得含有氟化鈉的沉淀物和三次處理廢液;向三次處理廢液中加入硝酸鈣,得固體廢料和四次處理廢液;四次處理廢液經(jīng)過結(jié)晶得五次處理廢液和硝酸鈉。本申請將含氟廢液的有效成分轉(zhuǎn)化為可回收利用資源,解決含氟廢液對環(huán)境的污染問題,且處理成本低,資源化產(chǎn)品價值高。
聲明:
“集成電路行業(yè)含氟廢液資源化利用的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)